生产厂商

美国VEECO公司  

出厂日期

2004.12

主要配置

功能特色

该扫描探针显微镜示LNM原位纳米尺度力学测试分析系统实验平台的主体部分，不仅具有高分辨率的表面形貌观察能力，并且特别强调皮尔－微牛量级的微小力的定量测量能力，为保证力学测试的准确性，由PicoForce模块提供纵面的闭环回路控制，与微悬臂梁弹性系数标定功能，从而提高力曲线的定量测量精度。该扫描探针显微镜具有接触模式，轻敲模式等多科模式，同时具备扫描隧道显微镜功能与液体环境观察测量能力，可实现多种环境条件下的测量与观察。

分析测试

服务内容

Di Dimension Ⅲa可以广泛应用于半导体晶圆表面特征测量、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD检测、生物材料、光学以及其它领域大直径样品。

原子力显微镜(VEECO-DI)

服务方式

■样品分析； □样品鉴定； □合作开发； □技术服务； □其它

备注：